催化劑式PFC分解裝置"HICDS"

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• 具有高度分解所有PFC氣體的性能→保證值：>99%、一年（PFC濃度<1%）。
• 由於是低溫分解，實現了設備的低成本運轉。
• 眾多的銷售實績（交付：372台、取得訂單：376台）。

PFC分解裝置

催化劑的PFC分解性能

批量生產裝置(CD-200)系統

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